企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
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化学抛光是在不供电情况下产生抛光效果,其抛光原理与利用电流作用的电解抛光在本质上没有太大差别。化学抛光效果一般要比电解抛光效果差,在化学抛光中,由于材料的质量不均匀,会引起局部电位高低不一,产生局部阴阳极区,形成局部短路的微电池,使阳极发生局部溶解。而在电解抛光中由于外加电位的作用可以完全消除这种局部的阴极区,进行的电解,因此效果更好。
CMP技术的概念是1965年由Manto提出。该技术是用于获取高质量的玻璃表面,如望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM 的制造中,而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM 的生产中以后,CMP技术在世界各地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法,CMP通过化学的和机械的综合作用,从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬”原理,三酸抛光工艺,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。
1. 机械抛光 机械抛光是靠切削、材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法,莆田三酸抛光,一般使用油石条、羊毛轮、砂纸等,以手工操作为主,特殊零件如回转体表面,三酸抛光厂家,可使用转台等辅助工具,表面质量要求高的可采用超精研抛的方法。超精研抛是采用的磨具,在含有磨料的研抛液中,紧压在工件被加工表面上,作高速旋转运动。利用该技术可以达到Ra0.008μm的表面粗糙度,是各种抛光方法中的。光学镜片模具常采用这种方法。
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